电子级超纯水用高性能膜材料及国产化应用进展

半导体制造对超纯水杂质控制要求严苛。报告围绕反渗透、EDI、脱气膜、终端超滤等核心膜材料，阐述各类膜对无机离子、有机物、溶解气体、颗粒物的去除机理，介绍超纯水系统膜工艺集成方案。分析国产膜在低溶出、高截留、高稳定性方面的技术攻关成果，分享晶圆厂现场验证与工程应用案例，剖析现阶段国产化落地存在的难点，并展望电子级超纯水膜材料的技术迭代与产业发展方向。

高康，注册环保工程师，现任中电环境设计研究院工艺技术研究所所长，长期致力于电子超纯水工艺技术与关键设备材料研发，精通从原水预处理到终端精处理的完整工艺链。